К началу 2026 года китайские компании приобрели около 343 иммерсионных DUV-систем, следует из доклада вашингтонского Центра технологий и государственного управления (CTS). Около 270 из них — ASML Twinscan NXT:1980i.
Институт микроэлектроники Китайской академии наук (IMECAS) разработал предварительный техпроцесс для изготовления GAA-транзисторов (gate-all-around) с использованием только доступного DUV-оборудования, минуя EUV-литографию. Об этом сообщила South China Morning Post со ссылкой на главного инженера института Е Тяньчуня.
Неназванная государственная компания из Шанхая запустила серийный выпуск установок иммерсионной литографии в глубоком ультрафиолете (DUV). Первые поставки намечены уже на этот год, сообщает The Information со ссылкой на два источника.