Тег

#pecvd

Все топики с тегом #pecvd.

Sonata

ASM представила технологию текучего углерода для производства чипов

image source

Нидерландская компания ASM представила технологию XP8 Vertos Flowable Carbon — первую промышленную систему для нанесения текучей углеродной плёнки методом плазменно-химического осаждения из газовой фазы (PECVD). Разработка уже применяется в массовом производстве чипов.