Проект Илона Маска Terafab может получить первую EUV-установку ASML Twinscan NXE уже в середине следующего года. Корпус завода достроят лишь в конце 2027 года, поэтому сканер некоторое время будет простаивать.
По неофициальным данным, SpaceX заказала оборудование для производства полупроводников в апреле 2026 года, за несколько месяцев до выбора площадки. С учётом долгих сроков поставки ASML монтаж в середине 2028 года выглядит правдоподобно.
SpaceX объявила о площадке для Terafab в техасском округе Граймс в августе 2026 года. К середине сентября там рыли котлован и монтировали арматурный каркас здания.
Оценки аналитиков по первой очереди:
строительство — 20 месяцев;
оснащение оборудованием — 17 месяцев;
выход на проектную мощность — ещё 6 месяцев.
То есть работа начнётся в конце 2029 года, а полная мощность будет достигнута к середине 2030 года.
Отдельно Tesla в апреле начала строить полупроводниковое предприятие на северном кампусе Giga Texas близ Остина. Здание возводят 15 месяцев, ещё полгода уйдёт на оборудование. Затем начнётся экспериментальное производство чипов, чтобы подготовить персонал к завершению первого этапа Terafab.
Terafab намерена начать с техпроцесса Intel 14A. Он совместим с EUV-сканерами Low-NA и High-NA, поэтому на старте будет использоваться традиционное оборудование, хотя Маск высоко оценивает лазеры на свободных электронах.
Переход на непроверенные источники света потребовал бы изменить процесс, провести масштабные испытания, возможно, пересмотреть фотошаблоны и фоторезисты. Это усложнило бы перенос 14A и замедлило выход на мощность. Но гадать о будущем выпуске завода пока рано.
Intel планирует опытное производство 14A (класс 1,4 нм) во второй половине 2027 года, массовое — во второй половине 2028 года. Это минимум на полтора года раньше Terafab.
К концу 2029 года TSMC намерена перейти на A12 (класс 1,2 нм) с GAA-транзисторами на нанолистах. Но Terafab будет выпускать чипы только для Tesla и SpaceX, поэтому отставание вряд ли станет серьёзной проблемой: рост затрат на сложную технологию компенсируют собственные мощности.